商品内容：
★長さ，温度，速さ，明るさ，におい，毒性・・・同じ種類のセンサでも「異なる検出範囲！」
★機能不足，信頼度不足，火災・・・故障・事故予防にも必要な，正しい「センサの選び方・使い方！」
★ノーベル賞受賞にも貢献するセンサ感度の向上・開発トレンド(例：小柴氏＝超高感度光センサ)
●発 刊 ２００４年１０月２８日
【執筆者紹介】
《監修》 (有)谷口技術士事務所 代表取締役 谷口 雄三 氏 (元・(株)日立製作所）
●ＮＴＴ マイクロシステムインテグレーション研究所 スマートデバイス研究部 主幹研究員 永妻 忠夫 氏
●職業能力開発総合大学校 福祉工学科 教授 塩田 泰仁 氏
●浜松ホトニクス(株) 固体事業部 専任部員 犬塚 智也 氏
●(株)オメガシミュレーション 代表取締役社長 篠田 拓也 氏 (横河電機(株)より出向中）
●横河電機(株) 生産技術本部 C/Dプロジェクトリーダ 佐竹 博 氏 （城西大学および工学院大学 非常勤講師）
●芝浦工業大学 工学部 電子工学科 ナノ生命電子情報研究室 助教授 六車 仁志 氏
【 目 次 】
第１章 工業用センサの概要
第２章 センシングの要素技術と原理
２．１ 圧力・力センサ
２．２ 電気量センサ
２．３ 磁気センサ
２．４ 温度センサ
２．５ 光センサ
２．６ バイオセンサ
２．７ ＭＥＭＳの基本
第3章 センサ種類用途別スペック集
（各節毎に解説文と，代表的な機種のスペックを収録）
３．１ 機械量センサ
3.1.1 長さ，距離
(1)光電式リニアスケール
(2)アブソリュート（絶対座標）リニアスケール
(3)磁気測長リニアエンコーダ
(4)レーザ測長器
(5)光反射式微小変位計
(6)超音波変位計
(7)差動変圧器
(8)静電容量変位計
(9)高周波渦電流式変位計
(10)半導体位置検出
（PSD: Position Sensitive Light Detector）
3.1.2 位置検出，物体検出
(1)光電センサ
(2)電磁的センサ（近接センサ）
(3)リミットスイッチ，マイクロスイッチ
3.1.3 形状
(1)２次元形状検出
(2)３次元形状検出
(3)SPM (走査型プローブ顕微鏡
：Scanning Probe Microscope)
3.1.4 回転角度（エンコーダ）
(1)光電式ロータリーエンコーダ
(2)磁気式ロータリーエンコーダ
(3)レゾルバ
3.1.5 角度（ジャイロ），姿勢，傾斜
(1)サーボ式傾斜角センサ
(2)ジャイロ（Gyroscope）
(3)姿勢，方位センサ
3.1.6 膜厚
(1)非接触型渦電流式金属膜厚計
(2)電磁誘導式／渦電流兼用膜厚計
(3)超音波式膜厚計
(4)光波干渉式膜厚計
(5)分光エリプソメータ
(6)全反射蛍光Ｘ線膜厚計
3.1.7 速度
(1)レーザ光ドップラ速度計
(2)空間フィルタ方式非接触速度計
(3)DCタコジェネレータ
(4)デジタル回転計（タコメータ）
3.1.8 振動
(1)サーボ形３軸加速度ピックアップ
(2)変位フィードバック式サーボ形加速度ピックアップ
(3)レーザドップラー振動計
(4)グランドノイズメータ
3.1.9 力，トルク
(1)ひずみゲージ（ストレインゲージ）
(2)ロードセル
(3)トルク検出センサ（トルク変換器）
(4)加速度センサ
3.1.10 重量
(1)分析天秤
(2)音叉センサ式天秤
(3)ロードセル式レベル計
3.1.11 粘度
(1)回転式粘度計
(2)超音波式粘度計
(3)粘度・粘弾性測定装置
(4)音叉振動式粘度計
3.1.12 気体圧力，真空度
(1)隔膜置換器式絶対圧力伝送器
(2)高精度圧力測定
(3)差圧伝送器
(4)ダイアフラム型小型圧力センサ
(5)薬液用圧力伝送器
(6)デジタルピラニ真空計
(7)セラミックキャパシタンスマノメータ
(8)広帯域真空計
(9)メタル電離真空計
3.1.13 流速，流量
(1)容積式体積流量計
(2)電磁流量計
(3)超音波式流量計
(4)渦流流量計（渦電流検出方式）
(5)差圧式質量流量計
(6)電磁流量計（静電容量方式）
(7)コリオリ式流量計
(8)マスフローメータ，マスフローコントローラ
(9)熱式風速計
3.1.14 音響検出
(1)1/2インチ計測用マイクロフォン・プリアンプ
(2)１軸型音響インテンシティプローブ
(3)精密騒音計
(4)音響校正器
３．２ 電磁気量センサー
3.2.1 電流・電圧
(1)可動コイル型直流電圧・電流計
(2)可動鉄片型交流電圧・電流計
(3)整流型交流電圧・電流計
(4)アナログ電子式電圧・電流計
(5)デジタル電子式電圧・電流計
(6)特殊な電流計
3.2.2 電力
(1)電流力計型電力計
(2)誘導型積算電力計
(3)電子式デジタル電力計
(4)高周波電力計
3.3.3 容量，抵抗，インダクタンス
(1)抵抗測定
(2)容量・インダクタンス測定
3.2.4 高周波
(1)オシロスコープ
(2)スペクトラムアナライザ
(3)プローブ
(4)高周波電力計（パワーメータ）
(5)周波数カウンタ
(6)ネットワークアナライザ
3.2.5 電波
(1)アンテナ
(2)EMI測定
(3)近傍電磁界プローブ
3.2.6 磁気
(1)サーチコイル型電子磁束計
(2)フラックスゲート型磁束計
(3)ガウスメータ
(4)MR/GMRセンサ
(5)MIセンサ
(6)その他の磁気センサ
3.2.7 静電気
３．３ 光学センサー
3.3.1 光量，輝度
(1)照度計
(2)輝度計
(3)積算光量計，紫外線積算光量計
3.3.2 測色計
3.3.3 赤外線，紫外線センサー
(1)赤外線センサー
(2)紫外線センサー
3.3.4 画像センサー
(1)ＣＣＤイメージセンサ
(2)ＭＯＳイメージセンサ
3.3.5 微粒子検出
(1)気中ダストモニタ
(2)液中ダストモニタ
(3)ウエハ上異物検出
3.3.6 放射線，X線
３．４ 化学センサ
3.4.1 温度
(1)熱電対
(2)サーミスタ
(3)白金測温抵抗体
(4)水晶発振式
(5)焦電式
(6)放射温度計
(7)赤外線サーモグラフィ
3.4.2 湿度，水分
(1)湿度センサ
2)水分センサ
3.4.3 ガス成分，濃度
(1)ジルコニア酸素計
(2)赤外線ガス分析計
(3)ポータブルＶＯＣモニタ
(4)ガスクロマトグラフ
(5)ガス密度形
(6)磁気式酸素計
3.4.4 液体成分，濃度
(1)パーソナルｐＨメータ
(2)パーソナルＳＣメータ
(3)溶存酸素計ハンディタイプ
(4)ｐＨ電極
(5)純水ｐＨ電極
(6)アルカリ度計
３．５ バイオセンサ
3.5.1 酵素センサ
(1)電極型
(2)使い捨て血糖値
(3)微小
3.5.2 微生物センサ
(1)BODセンサー
(2)使い捨て血糖値
3.5.3 表面プラズモン共鳴バイオセンサ
3.5.4 水晶振動子バイオセンサ
3.5.5 DNAチップ
(1)DNAチップ
(2)マイクロアレイヤー
(3)スキャナ
ISO総合研究所企業情報へ
